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硅微机械陀螺误差建模理论与方法
¥115.5(7.7折)定价:¥150.0本书将从结构误差模型（包括异构宏模型、音叉版图等结构误差模型）、制造工艺误差模型（包括根切、粘附、划片和封装等制造误差）、测控电路误差模型（包括零位、馈通电耦合、热启动等电路误差模型）等三大部分、6个章节系统阐述微机械陀螺误差机理及其建模方法，对提升微机械陀螺芯片行业发展水平具有重要的理论价值和工程指导意义...
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金刚石膜的应用与抛光技术
¥135.4(7.2折)定价:¥188.0本书在第1章讲述金刚石的结构和性能技术上，第2章详细讲述金刚石在各领域的应用情况。这些应用领域大多为高技术领域，且很多还未进入到人们的视野，对推广金刚石应用有很好的帮助。第3章简要介绍金刚石膜的制备技术。第4章详细介绍金刚石膜的去除机理与抛光理论，为后续几章金刚石膜的抛光技术提供指导。第5、6、7、8章分别详细介绍金刚石膜的机械抛光技术、摩擦化学抛光技术、化学机械抛光技术和光催化抛光技术。第9章介绍金刚石膜的特种加工技术，第10章简要
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微机电系统(MEMS)制造技术
¥101.1(7.9折)定价:¥128.0微机电系统技术是一门融合了微电子技术、微机械加工技术、微光学等多种现代信息技术的新兴、交叉学科，它的发展将对21世纪的人类生产和生活方式产生重要影响，并在未来高科技竞争中起到举足轻重的作用。用于实现微机电器件的制造技术起源于微电子和半导体，但是又在微电子和半导体工艺的基础上发展和集成，具备自己独特的特色。国内目前有关MEMS制造技术的专著或者是直接翻译国外著作，或者是脱胎于半导体工艺的相关内容，缺乏真正结合国内MEMS发展条件，结合M
