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微纳制造与微机电系统 版权信息
- ISBN:9787030793584
- 条形码:9787030793584 ; 978-7-03-079358-4
- 装帧:平装
- 册数:暂无
- 重量:暂无
- 所属分类:>>
微纳制造与微机电系统 内容简介
本书体系严密,深入浅出,将基本概念、工艺技术、典型器件和系统应用相结合,使读者能够全面地理解和掌握微纳制造与微机电系统相关知识。全书共8章,第1章概述MEMS的定义、特点、制造技术、发展历程与未来发展趋势;第2、3章分别介绍体硅和表面微加工技术的原理、流程、常见问题与解决方法;第4章阐述近年来体硅和表面硅工艺在MEMS器件制造方面的应用;第5章介绍LIGA/准LIGA技术;第6章介绍MEMS微传感器;第7章介绍MEMS微执行器;第8章介绍MEMS技术在生物医学、军事安全、远程通信以及航空航天等领域的典型应用案例。
微纳制造与微机电系统 作者简介
大连理工大学机械工程学院教授、副院长.授课:机械工程导论、微制造与微机械电子系统、基础科研技能、科技综合技能。
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