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聚焦离子束:应用与实践 版权信息
- ISBN:9787305274091
- 条形码:9787305274091 ; 978-7-305-27409-1
- 装帧:平装-胶订
- 册数:暂无
- 重量:暂无
- 所属分类:>
聚焦离子束:应用与实践 内容简介
聚焦离子束(FocusedIonBeam,FIB)是微纳加工、芯片失效分析、微结构科学研究的核心技术装备之一。随着材料、器件的微尺度化(纳米甚至原子尺度)、高集成化(每平方厘米集成10亿个以上的功能单元)、多功能化(在多种外场条件下工作),越来越多的材料微结构研究、器件研发须使用聚焦离子束。全书共分七章,从聚焦离子束的结构原理出发,紧密结合应用与实践,对聚焦离子束诱导沉积、溅射刻蚀、离子注入、离子束曝光、联合使用模式以及样品的前期处理进行阐述,并配有实际案例进行进一步详解。
聚焦离子束:应用与实践 作者简介
邓昱,南京大学现代工程与应用科学学院博士生导师,亚原子电子显微镜中心主任,中国分析测试协会青年委员会副主任委员,美国劳伦斯伯克利国家实验室、国家电子显微镜中心访问教授。
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