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有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法 版权信息
- ISBN：9787566117137
- 条形码：9787566117137 ; 978-7-5661-1713-7
- 装帧：一般胶版纸
- 册数：暂无
- 重量：暂无
- 所属分类：>
有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法 本书特色
当今时代，精密运动□台在各行各业中都得到了广泛应用，例如集成电路（IC）制造业、航天航空业、精密机械加工业等。其中，永磁直线电机在高速度、高精度、高载荷的运动控制中应用□为广泛。直线电机不需要机械传动装置实现从旋转运动到直线运动的转换，因此大大降低了电机系统非线性和摩擦力扰动的影响，但同时也带来了更多的模型不确定性和更强的外部扰动的问题，如推力波动问题。因此，若要获得高速度、高精度的运动控制，无论是通过恰当的结构设计还是有效的系统控制，降低上述问题带来的影响都是至关重要的工作。 本书以尖端精密设备——光刻机中的双工件台系统为研究背景，针对该系统宏动台X向有铁芯直线电机存在的推力波动问题，进行了深入的理论分析和扰动补偿方案研究。 首先，本书从电机结构层面对产生直线电机推力波动的主要原因进行了理论分析，并对研究对象——工件台宏动X向电机进行扫频试验，通过频率特性得出了较为准确的被控对象模型，并针对该模型进行了反馈控制系统设计，为后续工作打下基础。 其次，本书利用已有实验□台结构对定位力和纹波扰动进行了数据采集试验，并利用获得的数据进行了模型辨识，得到了二者基于径向基函数（RBF）神经网络的辨识模型。利用辨识模型进行查表补偿，试验结果表明，针对研究对象设计其他有效补偿方案是必要的。再次，本书通过理论分析、仿真研究和试验研究，对迭代学习补偿方法进行了深入研究。试验结果表明，迭代学习补偿方法对周期性推力波动具有较好的抑制能力，但其不能解决部分呈现非周期性的推力波动。 □后，本书深入研究了扰动观测器补偿方法，并提出了一种改进策略。试验结果验证了改进扰动观测器对扰动抑制的有效性和优异性。本书□后提出了一种扰动观测器+迭代学习补偿策略，可以在缩短迭代周期的同时提高系统跟踪精度。
有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法 内容简介
当今时代，永磁直线电机在高速度、高精度、高载荷的运动控制中应用广泛，同时也带来了更多的模型不确定性和更强的外部扰动问题。因此，兼顾高动态和高精度的运动控制指标，降低上述问题带来的影响是至关重要的。 《有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法》以尖端精密设备——光刻机中的双工件台系统为研究背景，针对有铁芯直线电机存在的推力波动问题，进行了深入的理论分析和扰动补偿方案研究。 《有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法》可作为从事精密机电系统研发的科研人员和工程师的参考书。
有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法 目录
第1章 绪论
1．1 研究背景、目的及意义
1．2 推力波动抑制的国内外研究现状及分析
1．3 主要研究内容
第2章 推力波动分析及反馈控制系统设计
2．1 直线电机推力波动分析
2．2 直线电机建模及反馈控制器设计
2．3 本章小结
第3章 推力波动数据采集及辨识
3．1 推力波动数据采集方案设计及试验结果
3．2 推力波动辨识方法研究
3．3 查表补偿方法研究
3．4 本章小结
第4章 基于迭代学习前馈的推力波动补偿方法研究
4．1 迭代学习前馈补偿方法理论分析
4．2 基于迭代学习前馈的推力波动补偿方法仿真研究
4．3 基于逆模型迭代学习前馈的推力波动补偿方法实验验证
4．4 本章小结
第5章 基于扰动观测器的推力波动补偿方法研究
5．1 基于传统扰动观测器的推力波动补偿方法研究
5．2 改进扰动观测器设计
5．3 基于改进扰动观测器的推力波动补偿方法实验验证
5．4 基于改进扰动观测器+迭代学习的推力波动补偿方法研究
5．5 本章小结
结论
参考文献
1．1 研究背景、目的及意义
1．2 推力波动抑制的国内外研究现状及分析
1．3 主要研究内容
第2章 推力波动分析及反馈控制系统设计
2．1 直线电机推力波动分析
2．2 直线电机建模及反馈控制器设计
2．3 本章小结
第3章 推力波动数据采集及辨识
3．1 推力波动数据采集方案设计及试验结果
3．2 推力波动辨识方法研究
3．3 查表补偿方法研究
3．4 本章小结
第4章 基于迭代学习前馈的推力波动补偿方法研究
4．1 迭代学习前馈补偿方法理论分析
4．2 基于迭代学习前馈的推力波动补偿方法仿真研究
4．3 基于逆模型迭代学习前馈的推力波动补偿方法实验验证
4．4 本章小结
第5章 基于扰动观测器的推力波动补偿方法研究
5．1 基于传统扰动观测器的推力波动补偿方法研究
5．2 改进扰动观测器设计
5．3 基于改进扰动观测器的推力波动补偿方法实验验证
5．4 基于改进扰动观测器+迭代学习的推力波动补偿方法研究
5．5 本章小结
结论
参考文献
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